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等离子清洗原理

产品介绍: 等离子清洗原理1> 主要分为两种方式,即腔式与大气压式,此两种等离子技术均为直接式等离子。2> 腔式Glow等离子的特点是需要一个封闭的腔体,电极内置于真空腔体中,工作时首先用真空泵将腔体内空 气吸出形成类真空环境,然后等离子在整个腔体中形成并直接对在内的材料进行表面处理。3> 此种腔式等离子的处理效果要
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产品介绍:

等离子清洗原理

1> 主要分为两种方式,即腔式与大气压式,此两种等离子技术均为直接式等离子。

2> 腔式Glow等离子的特点是需要一个封闭的腔体,电极内置于真空腔体中,工作时首先用真空泵将腔体内空 气吸出形成类真空环境,然后等离子在整个腔体中形成并直接对在内的材料进行表面处理。

3> 此种腔式等离子的处理效果要优于corona 等离子。后续运行成本较高,主要原因是其真空泵连续工作的功耗较大。另外设备工作时在真空环节需要的时间较多,对采用自动化生产线及要求处理效率的工业领域来说,局限性较明显。

4> 另一种大气压Glow(辉光)式等离子技术。RF射频作为激发能源,工作频率是13.56MHZ。采用氩气(Ar) 作为发生气体,氧气或者氮气作为反应气体。


大气压Glow(辉光)式等离子技术

1> 均匀度高:大气压等离子是辉光式的等离子幕,直接作用于材料表面,实验证明,同一材料不同位置的处理均匀性很高,这一特性对于工业领域进行下一环节的贴合、邦定、涂布、印刷等制程十分重要。

2> 效果可控:大气压等离子有三种效果模式可选。一是选用 氩气/氧气 组合,主要面向非金属材料并且要求较高的表面亲水效果时采用, 比如玻璃,PET Film等。 二是选用 氩气/氮气 组合,主要面向各种金属材料,如金线、铜线等。因氧气的氧化作用,替换为此方案中的氮气后,该问题可以得到有效控制。三是只采用氩气的情况,只采用氩气也可以实现表面改性,但是效果相对较弱。此为特殊情况,是少数工业客户需要有限而均匀的表面改性时采用的方案。

3> 安全易用:大气压式等离子,也是低温等离子,不会对材料表面造成损伤,例如对方阻值敏感的ITO Film材质亦可处理。无电弧,无需真空腔体,也无需废气排放系统,长时间使用并不会对操作人员造成身体损害。

4> 面积宽大:大气压等离子最大可以处理2m宽的材料,可以满足现有多数工业企业的需求。

5> 成本低廉:大气压等离子设备功耗低,运行成本以气体为主。以主要消耗气体氩气为例,同corona等离子气体消耗量相比不足其1/20.


常见的等离子技术:Arc等离子

Arc等离子技术通常应用于等离子切割机,主要是金属的切割。 可以搭配的工作气体种类较多,如氩、氧、氮、氢、水蒸气、空气、混合气体等。其等离子电弧的温度可以高达15000°~30000°。 等离子弧切割是利用极细、高温、高速的等离子电弧的热量来熔化进而切割金属器件, 特点是切割快速,热影响区小,切割面平滑。

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Plasma清洗的两种方式

物理反应:利用正离子撞击方式如氩气,使含C-H键之污染物脱离而达成清除之目的。

• 以氩离子利用电浆与基板间的电位差,高速撞击基板。 

• 以撞击动力溅射掉污染物,或将碳氢污染物化学键裂解,形成气体挥发。 

• 可溅射清除金属氧化膜。 

• Ar ― (Ar+) 离子撞击

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化学反应:利用氧原子或氢原子与污染物相结合方式,来达成Plasma处理

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