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等离子原理

产品介绍: Plasma产生原理等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种状态存在,但在一些特殊的情况下有第四种状态存在, 如地球大气中电离层中的物质。自然等离子体(如北极光,星云,太阳核,闪电)人造等离子体(如电虹灯,火焰喷射器,日光灯,半导体制程 的溅渡,半导体制程的干蚀刻,半导体封装制程的电浆清
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产品介绍:



Plasma产生原理

等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种状态存在,但在一些特殊的情况下有第四种状态存在, 如地球大气中电离层中的物质。


自然等离子体(如北极光,星云,太阳核,闪电)

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人造等离子体(如电虹灯,火焰喷射器,日光灯,半导体制程 的溅渡,半导体制程的干蚀刻,半导体封装制程的电浆清洗)

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物质四种形态 : 固体 、 液体 、 气体 、 电浆

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人工等离子的产生:Plasma的产生是利用直流,交流,射频或微波能源的方式,在适当的低压状态(约100mTorr至1Torr(1atm=760Torr)及密闭空间通以电源(12ev),将通入密闭空间之气体离子化,产生气态之粒子;利用离子化之粒子及借由极板所提供之电场, 加速粒子间之撞击作用,而经由撞击产生之二次电子与通入密闭空间之气态粒子,尤其是不带电荷的气体分子及原子团再次发生撞击。在撞击之间便产生了电浆及火光, 而经由撞击之电子与粒子相结合而变成原子团。

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等离子体组成:等离子体,即是包含离子电子与中性粒子或部分游离的气体。里面的组成由各种带电荷的电子,离子(Ion)及不带电的激发 态分子和原子团(Radicals) 、自由基、紫外线等。

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