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VP-10S全自动真空等离子清洗机

产品介绍: 适用于集成电路封装(引线框架/基板清洗),Wire / Die Bondings EMC封装、前后处理
面料:
型号: VP-10S
应用: 适用于集成电路封装段
咨询热线: 400-660-7690转1

产品介绍:

等离子系列产品

VP-10S全新全自动等离子清洗



适用于集成电路封装(引线框架清洗),Wire/Die Bonding、EMC封装、前后处理


  • 设备系统支持多个版本(PLC/PC),支持主流多种通讯协议.

  • 设备依SEMI安全生产标准设计生产。

  • 通道设计产能高,UPH400~550pcs.

  • 适用多种产品尺寸及弹夹。

  • MFC晶圆级专利设计,防止气体泄漏引发安全事故 (可使用氢气等高危气体).

  • 腔体高密封专利设计最高可达5pa 以内

  • 水滴角<10° (与清洁表面材质相关)


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功能配置技术参考
设备尺寸长*宽*高L=1700,W=1200,H=1654 (mm)
净重1.0T
设备周边间隙后面600mm,两边600mm
腔体容积约9L
通道4条
下电极2块 (待料功能)
上料方式弹夹
适应产品尺寸宽度:40-100mm  长度:150-300mm
电极电极尺寸528x300mm
射频电源标准功率4KW
频率13.56MHz
气体控制最多支持三路标配2路,可选配3路
控制系统人机界面PC + 触摸显示屏
远程接口通讯选配
真空泵可选干泵17CFM
可选油泵195CFM
可选带吹扫功能干泵YES
氮气吹扫流量2SLM
抽真空时间10-15S
破真空时间3-4S
厂务设施电源AC380V 50-60HZ 4KW (油泵) / AC380V 50-60HZ 0.6KW (干泵)
工艺气体管路尺寸&类型1/4inch Swagelok
工艺气体纯度工业级及以上
工艺气体压力10-20psig
吹扫气体管路尺寸&类型1/4inch Swagelok
吹扫气体纯度工业级及以上
吹扫气体压力15psig
气动阀门管路尺寸&类型10mm push-in fitting
气动气体纯度压缩空气,无油,露点≤7℃,颗粒<5
气动气体压力70-90psig
压缩空气排气管路10mm
合规认证SEMI
辅助设备氮气发生器(可选)有氮气吹扫功能需求时选配
水冷机(可选)配置冷却功能电极时选配
氢气工具包(可选)使用氢气进行处理时选配
尾气处理机(可选)含氟气体处理时的尾气处理选配
运输总重量1.0T
包装件数1
包装符合SPM15标准YES


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