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VP-10D全自动等离子清洗机

产品介绍: 集成电路封装,引线框架/基板清洗,Wire / Die Bonding、 EMC封装前后处理
面料:
型号: VP-10D
应用: 集成电路封装,引线框架/基板清洗,Wire / Die Bonding、 EMC封装前后处理
咨询热线: 400-660-7690转1

产品介绍:

等离子系列产品

VP-10D全新全自动等离子清洗机


关键应用

  • 在半导体封装基板和引线框架上进行打线键合前的等离子体处理

  • 封装芯片上的预填充前的等离子体处理

  • 半导体封装基板和引线的模前等离子体处理

  • 等离子体处理半导体封装基板和引线框架,以改善附着力

  • 去除/还原引线上的氧化层

  • 业界领先的产能和可靠性;

  • 基于安达的专利等离子体技术;

  • VP-10D是我们最新的全自动等离子体系统,包含一个高容量工艺室,提供高均匀性和高生产能力.


设备优势

  • 1、设备尺寸占地面积小。

  • 2、设备系统支持多个版本(PLC/PC),支持主流多种通讯协议。

  • 3、设备依SEMI安全生产标准设计生产。

  • 4、4通道设计产能高,UPH 350~450pcs。

  • 5、适用上百种产品尺寸及弹夹。

  • 6、下电级模块设计更换只需10S,维护保养、切换不同尺寸产品非常简单。

  • 7、MFC 晶圆级专利设计,防止气体泄漏引发安全事故(可使用氢气等高危气体)。

  • 8、腔体高密封专利设计 最高可达 5pa 以内

  • 9、水滴角<10°(与清洁表面材质相关)。





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功能配置技术参数
设备尺寸宽x长x高1020L*1380W*1865H
净重400KG
设备周边间隙后面800mm,两侧500mm
腔体容积工艺腔体容积8.5L
适应产品尺寸宽度50-100mm / 长度150-300mm
电极电极尺寸上:320*500mm  下:320*520mm
射频电源标准功率1KW
频率13.56MHz
气体控制最多支持三路标配2路,可以选配3路
控制系统人机界面PLC触摸屏 / PC控制
远程接口通讯选配
真空泵可选干泵90CFM
可选油泵195CFM
可选带吹扫功能干泵YES
氮气吹扫流量2SLM
厂务设施电源AC380V 50-60HZ 4KW (油泵) / AC380V 50-60HZ 7KW (干泵)
工艺气体管路尺寸&类型1/4inch Swagelok
工艺气体纯度工业级及以上
工艺气体压力10-20 psig
吹扫气体管路尺寸&类型1/4inch Swagelok
吹扫气体纯度工业级及以上
吹扫气体压力15psig
气动阀门管路尺寸&类型10 mm push-in fitting
气动气体纯度压缩空气,无油,露点<=7"C,颗粒<5
气动气体压力70-90psig
压缩空气排气管路10mm
合规认证SEMI
辅助设备氮气发生器(可选)有氮气吹扫功能需求时选配
冷水机(可选)配置冷却功能电极时选配
氢气工具包(可选)使用氢气进行处理时选配
尾气处理机(可选)含氟气体处理时的尾气处理选配
运输总重量460KG
包装件数1
包装符合SPM15标准            YES


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