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VP-10S全自动真空等离子清洗机（有待料区）

产品特点:

设备系统支持多个版本(PLC/PC)，支持主流多种通讯协议； 

设备依SEMI安全生产标准设计生产； 

通道设计产能高，UPH400~550pcs； 

适用多种产品尺寸及弹夹；

MFC晶圆级专利设计，防止气体泄漏引发安全事故(可使用氢气等高危气体）； 

腔体高密封专利设计最高可达 5pa以内； 

水滴角<10°(与清洁表面材质相关)； 

四通道设计，同时处理4个产品，配置双下电极，节省进出板时间，效率大幅提升，保证处理产品均性。

技术规格:
功能配置技术参数
设备尺寸长X宽X高(mm)L1600 xW1150 XH1700
净重(kg)1000 
设备周边间隙(mm)后面600,两边600
腔体容积(L)约9
通道(条)4 
下电极(块)2(待料功能)
上料方式弹夹
适应产品尺寸(mm)宽度：40-100长度：150-300
电极电极尺寸(mm)528×300
射频电源标准功率(kW)1 
频率(MHz)13.56 
气体控制最多支持三路标配2路，可选配3路
控制系统人机界面PC+触摸显示屏
远程接口通讯选配
真空泵可选干泵17CFM
可选油泵195CFM
可选带吹扫功能干泵YES
氮气吹扫流量(SLM)2 
抽真空时间(S)10-15
破真空时间(S)3-4
厂务设施电源三相380V50/60Hz 4.5kW(油泵)/三相380V50/60Hz 4kW(干泵)
工艺气体管路尺寸&类型1/4inch Swagelok
工艺气体纯度工业级及以上
工艺气体压力(psig)10-20
吹扫气体管路尺寸&类型1/4inch Swagelok
吹扫气体纯度工业级及以上
吹扫气体压力(psig)15 
气动阀门管路尺寸&类型10mm push-in fitting
气动气体纯度压缩空气，无油，露点≤7℃,颗粒<5
气动气体压力(psig)70-90
压缩空气排气管路(mm)中8
合规认证SEMI
辅助设备氮气发生器(可选)有氮气吹扫功能需求时选配
水冷机(可选)配置冷却功能电极时选配
氢气工具包(可选)使用氢气进行处理时选配
尾气处理机(可选)含氟气体处理时的尾气处理选配
运输总重量(kg)1050 
包装件数1 
包装符合SPM15标准YES
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